The role of modulated IR radiometry measurements in the characterization of Zr-O-N thin films uri icon

autores

  • Filipe Vaz
  • Luís António Carvalho Gachineiro da Cunha
  • Gibkes, J.
  • Macedo, F.
  • Bein, B.K.
  • Carvalho, P.
  • Cunha, L.
  • Plezl, Josef
  • Macedo, Francisco
  • Vaz, F.
  • Carvalho, P.
  • Gibkes, J.
  • Bein, B.K.
  • Cunha, L.
  • Pelzl, J.
  • Vaz, F.

data de publicação

  • janeiro 1, 2009